友情链接
在线客户695483558
内容编辑空气洁净标准和规范在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准，都规定了有关的洁净度等级。例如：美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。目前，该规范在重新修订中。
GBJ73-84规定的洁净度等级
等级
每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数
每立方米（升）空气中》5μm尘粒数
100
《35*100（〈3.5〉
1000
《35*1000（〈35〉
《250（〈0.25〉
10000
《35*10000（〈350〉
《2500（〈2.5〉
100000
《35*100000（〈3500〉
《25000（〈25〉
美国联邦标准FS209E中的洁净等级
等级名称
等级限值
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
国际单位
英制
单位
m3
Ft3
m3
Ft3
m3
Ft3
m3
Ft3
m3
Ft3
M1.0
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10
0.283
/
/
M1.5
1
1240
35.0
265.0
7.5
106
3
35.3
1
/
/
M2.0
3500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
/
/
M2.5
10
12400
350.0
2650
75
1060
30
353
10
/
/
M3.0
35000
991.0
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
/
/
M3.5
100
/
/
26500
750
10600
300
3530
100
/
/
M4.0
/
/
75700
2140
30900
875
10000
283
/
/
M4.5
1000
/
/
/
/
/
/
35300
1000
247
7
M5.0
/
/
/
/
/
/
100000
2830
618
17.5
M5.5
10000
/
/
/
/
/
/
353000
10000
2470
70
M6.0
/
/
/
/
/
/
1000000
28300
6180
175
M6.5
100000
/
/
/
/
/
/
3530000
100000
24700
700
M7.0
/
/
/
/
/
/
10000000
283000
61800
1750
美国宇航局标准NHB5340.2中的洁净等级
生物
洁净
室标准
尘埃
生物粒子
压力
温度
湿度
气流
照度
粒径
(μm)
个/L
浮游量
(个/L)
浮沉量
(个/㎡周)
㎜H2O
℃
%
换气
次数
Lx
100
≥0.5
≤3.5
≤0.0035
12900
≥1.25
指定数
40~45
1000~1620
10000
≥0.5
≥5.0
≤350
≤2.3
≤0.0176
64600
≥1.25
100000
≥0.5
≥5.0
≤3500
≤23
≤0.0884
323000
≥1.25
日本工业标准JISB-9920-1989中的洁净度等级
粒径(μm)
洁净度等级(个/m3)
1级
2级
3级
4级
5级
6级
7级
8级
0.1
101
102
103
104
105
106
107
108
0.2
2
24
236
2360
23600
0.3
1
10
101
1010
10100
101000
1010000
10100000
0.5
0.35
3.5
35
350
3500
35000
350000
3500000
5.0
/
/
/
/
29
290
2900
29000